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常見覆蓋層測量的*測量范圍

更新時間：2020-05-19

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表A.1 常見覆蓋層測量的*測量范圍
覆蓋層	基體	近似厚度范圍
覆蓋層	基體	μm	in
鋁	銅	0~100.0	0~0.004
鎘	鐵	0~60.0	0~0.0024
銅	鋁	0~30.0	0~0.0012
銅	鐵	0~30.0	0~0.0012
銅	塑料	0~30.0	0~0.0012
金	陶瓷	0~8.0	0~0.00032
金	銅和鎳	0~8.0	0~0.00032
鉛	銅和鎳	0~15.0	0~0.0006
鎳	鋁	0~30.0	0~0.0012
鎳	陶瓷	0~30.0	0~0.0012
鎳	銅	0~30.0	0~0.0012
鎳	鐵	0~30.0	0~0.0012
鈀	鎳	0~40.0	0~0.0016
鈀-鎳合金	鎳	0~20.0	0~0.0008
鉑	鈦	0~7.0	0~0.00028
銠	銅或鎳	0~50.0	0~0.0020
銀	銅或鎳	0~50.0	0~0.002
錫	鋁	0~60.0	0~0.0024
錫	銅或鎳	0~60.0	0~0.0024
錫-鉛合金	銅或鎳	0~40.0	0~0.0016
鋅	鐵	0~40.0	0~0.0016

注1：在整個范圍內(nèi)測量不確定度不是恒定的，而且靠近每個范圍兩端會增大。

注2：所給定的范圍是近似的，而且主要取決于可接受的測量不確定度。

注3：如果同時測量表層和中間層，由于熒光X射線光束的各種相互作用，即表層會吸收中間層的熒光，那么各覆蓋層材料可測厚度范圍會發(fā)生變化，例如測量在銅上的金和鎳時，若金覆蓋層厚度超過2.0微米，則無足夠的熒光保證鎳層高精度測量。

注4：當進行厚度大于0微米（如銅或鎳上的金：±0.005微米）覆蓋層厚度測量過程中，測量不確定度。這就必須了解測量范圍的下線。

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